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RTP快速升降温退火炉

RTP快速升降温退火炉

型    号: MXG1200-150-
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开启式RTP快速升降温退火炉,是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用*制造工艺,造型新颖结构合理,炉体上下两半设计,可自由打开闭合,安全可靠,炉管外径150mm,炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高温保护涂层,既能降低热量损耗,还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内,内部洁净度高,可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域,该系统

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RTP快速升降温退火炉  的详细介绍

RTP快速升降温退火炉 MXG1200-150-SL-RTP
开启式RTP快速升降温退火炉,是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用*制造工艺,造型新颖结构合理,炉体上下两半设计,可自由打开闭合,安全可靠,炉管外径150mm,炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高温保护涂层,既能降低热量损耗,还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内,内部洁净度高,可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域,该系统可满足离子注入后的快速退火,也可用于欧姆接触快速合金,还可用于硅化物合金退火,氧化物生长,以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热,升温速度快达30℃/S,炉体下部配有轨道,可左右移动至底部风扇处,以达到快速冷却的目的。
技术参数
项目主要技术指标数据
规格型号MXG1200-150-SL-RTP
温度控制zui高温度点1200℃
额定温度1100℃
稳定状态温度范围200-1050℃
温度测量精度±0.2℃
温度控制重复性±1℃
温度控制精确度±1℃
温度均匀性±2℃
温度状态工艺时间7-32 S(200-1050℃)
zui快升温速率30℃/S(可按需定制)
降温速率1-200℃(将试样移出加热区域或通氮气可加快降温)
温度控制模式智能模糊PID全闭环控制
触摸屏尺寸7寸LCD 工控
物理指标zui大功率27 Kw
额定电压AC380V,50/60Hz
测温元件型号K型热电偶
石英管规格Φ150*1500
真空度选配分子泵真空度可达6*10-3Pa
抽气端口尺寸KF40或Φ6mm
进气端口尺寸Φ6mm
冷却方式自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2)
外形尺寸深600*宽1520*高700
设备重量100Kg



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